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射頻/濺射電源

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RMC系列匹配器

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RMC系列匹配器

適用于光伏產業、平板顯示器行業、半導體行業、化工業、實驗室、科研、制造業等領域。適用于等離子體增強化學氣相沉積（PECVD)、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應濺射等工藝。

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產品編號

產品系列:

RMC系列

數量

-

+

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0

所屬分類



1

產品描述

參數

型號定義

主要參數

● 全數字控制，匹配精度高，匹配時間短
● 采用真空電容，可靠性高，使用壽命長
● 結構緊湊，體積小，安裝便捷
● 超寬匹配范圍，可定制適配任意負載
● 具有手動/自動匹配功能
● 具有保持和預置設定功能
● 具有通訊功能，可獨立連接上位機實時顯示負載狀態

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RPJ系列射頻電源

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